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2021-12-24

晶圓，硅片平面度，厚度測量

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光譜共焦位移傳感器D系列

全新結構設計 D系列采用全新結構設計，產品性能提高同時，體積大大減小，從而滿足了更多安裝空間限制的場景高效成本采用多功能小體積設計，僅需一個控制就可以最多支持8臺測量探頭同步工作，大大節約使用和空間成本極高采樣頻率 D系列最高可支持8通道同步采樣通道之間的同步時間誤差小于1ns 亞微米級分辨率極高分辨率可以輕松應對各種物體表面材質，即使是透明和漫反射面，也能準確分辨表面信息
光譜共焦位移傳感器 D65A52 系列鏡頭

鏡頭：外徑D最大設計角度A最大量程R *最小光斑直徑S*(C50光纖)工作距離C分辨率 *總長L單位mm D65A52系列：直徑65mm,角度±52°
光譜共焦位移傳感器 D27A29 系列鏡頭

鏡頭：外徑D最大設計角度A最大量程R *最小光斑直徑S*(C50光纖)工作距離C分辨率 *總長L單位mm D27A29系列：直徑27mm,角度±29°
光譜共焦位移傳感器 D15A12 系列鏡頭

鏡頭：外徑D最大設計角度A最大量程R *最小光斑直徑S*(C50光纖)工作距離C分辨率 *總長L單位mm D8A15系列：直徑15mm,角度±12°

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