2022-07-14
要求:測(cè)量薄膜下石墨的厚度
如上圖所示,首先先圈出被測(cè)量的區(qū)域,薄膜上的油墨厚度測(cè)量,盡量選擇石墨附近的油墨進(jìn)行測(cè)量,由于測(cè)量物體的不透明的,為了確保精度,采用的是雙軸對(duì)射平臺(tái)
雙軸對(duì)射平臺(tái),是采用兩個(gè)側(cè)頭,通過(guò)對(duì)心的方式,是兩個(gè)探頭的光斑重合,從而保證被測(cè)區(qū)域的精度。
(被測(cè)區(qū)域精度)
(平均值)
通過(guò)上圖就得出4個(gè)產(chǎn)品的區(qū)域精度,產(chǎn)品1位置1重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.135微米,位置2重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.053微米,位置3重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.073微米,位置4重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.175微米。光譜共焦傳感器的測(cè)量值會(huì)與接觸式高度計(jì)的測(cè)量值有一個(gè)固定偏差,可以通過(guò)增加固定補(bǔ)償值消除真值的差距
本次采用立儀科技D15A32R02S3的側(cè)頭搭配雙通道控制器,其側(cè)頭的最大量程為0.65MM,分辨率2nm,最小光斑直徑3.5um,工作距離6mm,最大測(cè)量角度±32°