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2023-03-17

光譜共焦半導體領域測量——凸塊測高、測晶圓TTV、翹曲

在剛剛過去的2022年,半導體行業無疑是增長最快的行業之一。如今,半導體廣泛應用于電動汽車、數據中心、智能手機和工廠自動化設備。作為全國測量設備和技術供應商之一立儀科技來說,半導體行業也是立儀過去重點關注的領域,尤其是在接觸式或非接觸式產品的輪測和檢測方面,積累了豐富的經驗。下面就跟隨立儀科技一起來看看吧





半導體在制造過程了使用光譜共焦位移傳感器測量設備進行檢測可以同時進行視覺,厚度的檢測,大大提升了產品的良品率,立儀旗下的點光譜共焦傳感器用于測量距離和外貌形狀厚度、TTV、翹曲、凸臺測量2.5D圖像的測量其精度最高可以達到0.1μm,并且型號多,測量角度大,能最大限度的滿足客戶的需求


 


立儀光譜共焦位移傳感器使用多個棱鏡色散部件,較其它色散原理光能利用率高2倍以上。線性度高2倍以上。雙層殼體雙重減震結構,光譜模塊殼體由整塊金屬鏤空而成,剛性和穩定性好,大幅度減少了機臺工作時震動影響以及外界熱傳導,機臺運輸時減少傳感器震動損壞或失準,電磁屏蔽性能好,散熱好。模塊化的LED光源。具有多通道版本節約控制器減少成本。 


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