2022-07-04
光譜共焦位移傳感器通過一束白光（或多波長混合光） 經過一個小孔，經過鏡頭將不同的波長聚焦到光軸上， 色散地形成一條彩虹狀分布帶，照射到樣品上，部分反射光反射回去。沒有照射在光軸與物體表 面交點的光經過分光部件， 照射在另一個小孔周圍被 阻擋，無法照射到光譜分析儀，不會干擾測量。照射在光軸與物體表面交 點的光經過分光部件，通 過小孔照射到光譜分析儀。根據波長計算就可以獲得鏡頭到被測物距離。今天，小編介紹光譜共焦位移傳感器檢測原理和厚度檢測模型。
光譜共焦檢測技術分析特定表面上不一樣波度的聚點位置，以實現精確的尺寸檢測和微觀形態分析。根據該檢測原理，特定波度的可以聚點在樣品的前面，而對于透明材料樣品，兩種不一樣波度的可以聚點在樣品的前面和后面。這是光譜共焦點提供的兩種檢測模式(位移檢測模式、厚度檢測模式)。
厚度檢測模式：
檢測玻璃、透鏡等透明樣品時，波度不一樣的兩條線可以聚點在樣品的前后表面，獲得樣品折射系數參數后計算樣品的厚度值。共焦檢測較大，與卡尺等傳統接觸檢測工具相比，具有所有非接觸檢測的優點，也具有通過單側檢測獲得樣品厚度值的特性。
折射系數直接影響厚度檢測的數據精度，因此在檢測開始時應先檢查樣品的返射率。返射率可以參考相似材質的數值，但為了獲得更精確的厚度檢測結果，必須使用返射率計檢測樣品的返射率。
