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2022-07-02

光譜共焦位移傳感器的原理是什么?能應用那些領域?

光譜共焦位移傳感器作為一種新興的高精度測量設備具有非接觸式、高精度、高穩定性、大角度、高采樣頻率等測量特性。那么作為一家新型的測量技術,光譜共焦的原理是什么呢:

一束白光(或多波長混合光)經過一個小孔,經過鏡頭將不同的波長聚焦到光軸上,色散地形成一條彩虹狀分布帶,照射到樣品上,部分反射光反射回去。(如下圖左所示)照射在光軸與物體表面交點的光經過分光部件,通過小孔照射到光譜分析儀。根據波長計算就可以獲得鏡頭到被測物距離(下圖右所示)。


光譜共焦位移傳感器的原理是什么?能應用那些領域?


作為新型的非接觸式高精度測量設備,精度可以達到亞微米級別,比如可以用來測量透明物體的厚度,以及輪廓、位移、高度、2d3d曲面弧度掃描、不透明物體的厚度測量、振動測量、深孔、液位測量、微槽、平面度測量等等。

光譜共焦位移傳感器的原理是什么?能應用那些領域?

在手機行業,比如曲面蓋板玻璃檢測、手機主板檢測、按鍵尺寸或高度檢測、芯片檢測、攝像頭模組檢測、手機攝像頭模組檢測等等。半導體行業,芯片引腳平整度檢測,晶圓深度和厚度檢測。玻璃測量,如厚度、弧度等一些要求精度高的產品。

聽完立儀小編的分享,相信大家對光譜共焦有了個大概的了解,更多關于光譜共焦咨詢歡迎關注本公司。


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