2021-08-27
隨著共焦光譜技術的發展，我們可以看到測量幾乎所有類型的材料，平面度、弧面度、高度差、凹槽等，應用于2.5D/3D曲面玻璃等手機3C行業。
光譜共焦測量方法恰恰利用這種物理現象的特點。光譜共焦測量技術通過分析不同波長的光在特定表面的聚焦位置以進行高精度的尺寸測量和微觀形貌分析。根據這一測量原理，特定波長的光可能聚焦在樣品正面，而對于透明材質樣品，兩條不同波長的光在樣品的正反面聚焦。這正是光譜共焦提供的兩種測量模式，前者為位移測量模式，后者為厚度測量模式。今天我們與立儀科技公司一起來看看光譜共焦測量的方法：
一、位移測量模式
位移測量模式輸出Z方向的高度值，導入XY的位移量后可直接輸出點云坐標。該模式與三坐標、結構光和激光三角等測量方法一致，不同之處在于光譜共焦支持反光表面的測量，且擁有亞微米級別的測量精度。
位移測量模式適用于大多數精密尺寸測量場景，提供點、線、面多種測量采樣選擇。點測量適用于測量物體振動和液體高度，輸出不同時序的Z方向值來輔助分析。線測量可連續記錄運動樣品表面的Z方向值，供斷差檢測和2D尺寸分析用途。面測量提供樣品表面完整的三維形貌數據，可進行綜合性的包括粗糙度等項目在內的分析。
二、厚度測量模式
在測量玻璃、鏡片等透明樣品時，不同波長的兩束光在樣片正反表面聚焦，在導入樣品折射系數參數之后，可計算出該樣品的厚度值。相比于游標卡尺等傳統的接觸式測量工具，光譜共焦測量擁有所有非接觸式光學測量的優勢，同時還具有單側測量即可獲取樣品厚度值的特性。
折射系數直接影響厚度測量的數據精度，因此在測量開始時應先確認樣品的折射率。折射率可參考同類材料的數值，但如需獲得更高精度的厚度測量結果，需借助折光儀測得樣品的折射率。
模式切換
光譜共焦的兩種測量模式可在軟件界面中自由切換，無需重新啟動設備或系統。因此，無論是樣品表面尺寸測量，還是透明材質厚度測量，亦或是同時獲取透明樣品的外觀尺寸和厚度信息，光譜共焦測量技術都能從容應對。
